作为我国激光与增材制造产业的核心集聚区,广东省激光行业协会此次强势组团参展,集结杰普特、海目星激光、英诺激光、创鑫激光、骐麟激光等一众骨干会员企业。广东展团将全方位展现产业集群的硬核实力与企业的技术突破成果,为跨区域产业合作搭建高效桥梁。
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深紫外连续266 nm激光器
英诺激光窄线宽高功率深紫外激光器,光束质量优异,M2<1.2,功率稳定性<±1%,寿命超2万小时。采用自主开发的窄线宽控制、高效倍频等核心技术,关键模块自研,具备自主专利的抗干扰设计,环境适应性广,可靠性高。主要应用于拉曼光谱分析的激发光源、检测光罩(Mask,也称Reticle)上的图形错误、颗粒划痕等缺陷,以及28nm及以下节点制程晶圆表面缺陷检测,助力半导体检测装备国产化。
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千瓦级超快薄片激光器
英诺激光自研千瓦级超快薄片激光器,具备高散热、高能量密度与高重复频率特性,实现2kW平均功率、83%光电转换效率及稳定<2%功率波动。采用自主活化键合薄片封装(PV<63nm)、高稳定72冲程泵浦腔与双V腔再生放大结构,支撑高功率皮秒输出与高指向稳定性。核心晶体、棱镜、镀膜等完全国产化,满足超硬材料精密加工、航空关键部件微孔加工、硅片切割及高能阿秒光源平台需求,是新一代高性能工业与科研超快光源解决方案。
11月29日上午,
北京国家会议中心二期A70展位,
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来源:激光制造网
